捷(jié)銳U22系列高純減壓(yā)器
作(zuò)者:admin 發布時間:2020-04-23 13:41:18 浏覽次數 :781
U22系列單(dān)級減壓器适用(yòng)于(yú)高純氣(qì)體、非腐蝕性氣體、腐蝕性氣(qì)體和有毒氣體。膜片和閥體(tǐ)的密封
采用了硬密封
的設計,降低洩漏率,同時提高了安全(quán)性和使用(yòng)壽命。
結構特點
316L不鏽鋼母體
膜片式硬密封,洩漏率低
可采用(yòng)面闆安裝和後座(zuò)安裝
壓力表标準連接:1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内部(bù)電解抛光
高(gāo)潔淨的組裝和包裝适用于高潔淨度(dù)的半導體行業
使用(yòng)壽(shòu)命長
100%氦氣測試
材質
母體:316L
閥座:PCTFE, Vespel®
膜片:316L
上蓋(gài):316
功能特(tè)性
流量:Cv=1.1
母體洩漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩漏率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗(yàn)證壓力:最(zuì)大額定壓(yā)力的150%
設計爆破壓力:最大額定(dìng)壓力的400%
工作條(tiáo)件
最大的入口壓力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出(chū)口壓力:0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流道表面
标準:Ra 20µin
可選:Ra 10µin
内部容積:22.6cc