捷銳U53系列高純減壓器
作者：admin 發布時間：2020-04-23 13:39:25 浏覽(lǎn)次數 :772
U53系列(liè)減壓器适用于高純氣體應用，采用内部無螺紋、非(fēi)焊接膜片結構。膜片(piàn)和閥體的密封采用
了硬密封的設
計，降低洩漏率，同時提高(gāo)了安(ān)全性(xìng)和使用壽命。
結構特點(diǎn)
316L不鏽鋼(gāng)母體
膜片式硬密封(fēng)，洩漏(lòu)率低(dī)
可采用面闆安裝和後座安裝
壓力表标準連接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内部電解抛光
專爲(wèi)高純淨應用生産(chǎn)制造
高潔淨的(de)組裝(zhuāng)和包裝适用于高潔淨度的半導體行業(yè)
使用壽命長
100%氦氣測試
材質
母體：316L, Hastelloy®
閥(fá)座：PCTFE
膜片：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特性
流(liú)量：Cv=0.054
母(mǔ)體洩漏(lòu)率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證壓(yā)力：最(zuì)大額定壓力的(de)150%
設計爆破壓力：最大(dà)額定壓力(lì)的400%
工作(zuò)條件
最(zuì)大的(de)入口壓力：300 psi (20 bar)
出口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道表面
标準(zhǔn)：Ra 20 µin
内部容積
9.3 cc
