捷銳U53系列高(gao)純減(jian)壓器
作者:admin 發布(bu)時(shi)間:2020-04-23 13:39:25 浏覽(lan)次數 :771
U53系列減壓(ya)器适(shi)用于高純(chun)氣體應(ying)用(yong),采用(yong)内部(bu)無螺紋、非(fei)焊接膜片結構。膜片(pian)和閥體的(de)密封(feng)采(cai)用(yong)
了硬密封的設
計,降(jiang)低洩漏(lou)率,同時(shi)提高了安(an)全性(xing)和使(shi)用壽命。
結(jie)構特點(dian)
316L不鏽鋼(gang)母體
膜片式硬(ying)密封,洩漏(lou)率低(di)
可采用面闆安裝和(he)後座(zuo)安裝(zhuang)
壓力表标準連接:1/4" FRS(M), 可(ke)選1/4" FRS(F)
内部電(dian)解抛光(guang)
專爲高(gao)純淨應用生産(chan)制造
高潔(jie)淨的組裝(zhuang)和(he)包裝适(shi)用于(yu)高潔淨度(du)的半(ban)導體行業(ye)
使用壽(shou)命(ming)長
100%氦氣測(ce)試
材質
母(mu)體:316L, Hastelloy®
閥座:PCTFE
膜(mo)片:Elgiloy®, Hastelloy
上蓋:316, Hastelloy
®
功(gong)能特性
流(liu)量:Cv=0.054
母(mu)體洩(xie)漏率(lü):2×10
-8 atm cc/sec He
閥座(zuo)洩漏(lou)率:4×10
-8 atm cc/sec He
設(she)計驗證壓(ya)力:最(zui)大額(e)定壓力的(de)150%
設計(ji)爆破壓力:最大額(e)定壓力(li)的400%
工作(zuo)條(tiao)件
最(zui)大的入口壓力(li):300 psi (20 bar)
出口壓(ya)力:0~30 psi (2 bar)
溫度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道(dao)表面
标準(zhun):Ra 20 µin
内部(bu)容積
9.3 cc