捷(jie)銳(rui)U53系列高(gao)純減壓器(qi)
作者(zhe):admin 發布(bu)時(shi)間:2020-04-23 13:39:25 浏覽(lan)次數 :772
U53系(xi)列(lie)減壓(ya)器适(shi)用于(yu)高純(chun)氣體應用(yong),采用(yong)内部(bu)無螺紋、非(fei)焊接膜片結構(gou)。膜片和閥體的(de)密封采用
了硬(ying)密封(feng)的設(she)
計,降(jiang)低洩漏率(lü),同時提高(gao)了(le)安全性(xing)和使用壽命。
結構特(te)點
316L不鏽鋼(gang)母體
膜片(pian)式硬密封(feng),洩(xie)漏(lou)率低(di)
可采用面(mian)闆安(an)裝和後座(zuo)安裝(zhuang)
壓力表(biao)标準連接:1/4" FRS(M), 可(ke)選(xuan)1/4" FRS(F)
内部電(dian)解抛光(guang)
專(zhuan)爲高(gao)純淨應用生産(chan)制造
高潔(jie)淨的(de)組裝(zhuang)和(he)包裝适(shi)用于(yu)高潔(jie)淨度(du)的半(ban)導(dao)體(ti)行業(ye)
使用(yong)壽命(ming)長
100%氦(hai)氣測(ce)試
材(cai)質
母(mu)體:316L, Hastelloy®
閥座(zuo):PCTFE
膜(mo)片:Elgiloy®, Hastelloy
上(shang)蓋:316, Hastelloy
®
功(gong)能特(te)性
流(liu)量:Cv=0.054
母(mu)體洩漏率(lü):2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩(xie)漏(lou)率:4×10
-8 atm cc/sec He
設(she)計驗證壓(ya)力:最大額定壓力的(de)150%
設計爆破(po)壓力(li):最大(da)額(e)定壓力(li)的400%
工(gong)作條(tiao)件
最(zui)大的(de)入(ru)口壓力(li):300 psi (20 bar)
出口(kou)壓力:0~30 psi (2 bar)
溫度:-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流道(dao)表(biao)面
标準(zhun):Ra 20 µin
内部(bu)容積
9.3 cc