捷銳U53系列高純減(jiǎn)壓器
作者：admin 發布時(shí)間：2020-04-23 13:39:25 浏覽(lǎn)次數 :771
U53系列(liè)減壓器适用于高純氣體應用，采用内部無螺紋、非(fēi)焊接膜片結構。膜片和閥體的密封采用
了硬密封的設
計，降低洩漏率，同(tóng)時提高了安(ān)全性(xìng)和使用(yòng)壽命。
結構特點
316L不鏽鋼母體
膜片式硬密封(fēng)，洩漏率低
可采用面(miàn)闆安(ān)裝和後座安裝
壓力表标準連(lián)接：1/4" FRS(M), 可選1/4" FRS(F)
内部電解抛(pāo)光
專爲(wèi)高純淨應(yīng)用生産(chǎn)制造
高潔(jié)淨的組裝和包裝适用于高(gāo)潔淨(jìng)度的半導體行業(yè)
使用壽命長
100%氦氣測試
材質
母體(tǐ)：316L, Hastelloy®
閥座：PCTFE
膜片：Elgiloy®, Hastelloy
上蓋：316, Hastelloy
®
功能特性
流量：Cv=0.054
母體洩(xiè)漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥座洩漏率(lǜ)：4×10
-8 atm cc/sec He
設計驗證壓力：最大額定壓力的150%
設計爆破壓力：最(zuì)大(dà)額定壓力的400%
工作條件
最大的入口壓力：300 psi (20 bar)
出口壓力：0~30 psi (2 bar)
溫度：-18℃~60℃ (0°F~140°F)
流(liú)道表面
标準：Ra 20 µin
内部容積
9.3 cc
